ПРОБЛЕМАТИКА КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ ПАРАМЕТРАМИ МИКРОКЛИМАТА В МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

В настоящее время всё большее внимание при стратегическом планировании развития промышленности в России уделяется предприятиям, работающим в сфере микроэлектроники. Подтверждением тому является большое число проводимых конференций, форумов и встреч на самом высоком государственном уровне по проблемам развития микроэлектроники в России. Основная часть предприятий, выпускающих микроэлектронную продукцию, начинали свою работу еще в советское время. То есть на сегодня имеются производственные цеха, которые по своим размерам и характеристикам не совпадают с современными производственными линиями выпуска микроэлектронной продукции. В статье приводится влияние параметров микроклимата на качество выпускаемой продукции. Рассматриваются как характеристики воздуха, поступающего и удаляемого из помещений, так и электростатические характеристики, несомненно оказывающие влияние на производство микроэлектроники и часто приводящие к браку, а также параметры воды, используемой в производстве. Результатом обзора существующего на сегодня в микроэлектронной промышленности уровня управления описанными выше параметрами является формулирование проблематики – отсутствие системного подхода при постановке технического задания, разработки всех стадий проекта и реализации строительства или реконструкции предприятий микроэлектронной промышленности в ключе управления параметрами микроклимата цеха, электростатическими параметрами и характеристиками промышленной воды и газа.

1. Смеляков А. Л., Тихонов А. Ф., Мугаттарова А. М. Автоматическое регулирование перепада избыточного давления между смежными помещениями // Механизация строительства. – 2015. – №. 12. – С. 48-50.

2. Побат С. В. Автоматизация процессов инженерных систем теплоснабжения и кондиционирования промышленных предприятий: дис. – автореферат диссертации к. т. н. Москва, 2010.

3. ГОСТ 18725-83. Микросхемы интегральные. Общие технические условия (с Изменениями N 1, 2, 3, 4).

4. Уайт В. Проектирование чистых помещений. – Клинрум, 2004.

5. Фесенко Э. О. Автоматизация промышленных систем вентиляции и кондиционирования воздуха // Вестник современных исследований. – 2018. – №. 2.2. – С. 58-59.

6. Востоков В. В., Васюков А. Н. Технологии создания «чистых помещений» в ЛПУ РФ // Медицинский алфавит. – 2012. – Т. 3. – №. 16. – С. 43-52.

7. Горлов М. И. Статическое электричество и полупроводниковая электроника // Природа. – 2006. – №. 12. – С. 27-36.